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平板表现污染处理方案

先辈的消费办法通常要求十分干净的氛围情况,许多状况下,氛围要求还能够愈加严厉。LED和薄膜晶体管黑色液晶表现器(TFT-LCD) 的消费工艺较庞大,技能难度和本钱均较高,对消费情况要求也较高,其工艺进程薄膜晶体管有矩阵工艺与大范围集成电路消费工艺类似;

平板表现的特点是:这种表现的安装自身便是一块平板,没有普通表现器中的电子束管,作为大屏幕表现时不存在投射间隔题目,因而,是一种比拟抱负的表现。由于它多接纳矩阵控制,以是又叫做矩阵控制平板表现或简称为矩阵表现。它所控制的表现资料有:场致发光资料、发光二极管、等离子、液晶等。

平板表现的消费工艺对情况的氛围干净度品级、温湿度、防微振和高纯物质的供给等均有较严厉的要求:消费情况要有一万级到十万级的污染车间,而且对温度和湿度都有明白控制;各干净室氛围干净度品级:控制粒子粒径为0.3μm。

 

净化物

来路

引提问题

处理方案

粉尘、 微细盐粒子

氛围

形成光学镜片雾

干净室HVAC条理的新风机组加化学过滤功用段,在FFU加化学滤网

 

局部成交客户

 

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