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半导体行业污染处理方案

晶圆设置装备摆设,微粒过滤和控制AMC是必需的。微粒过滤和控制AMC是高收益、低退货率的半导体财产主要担忧的题目。不克不及很好的在干净室或设置装备摆设中控制微粒或AMC将大大的减弱企业的运营利润。干净室的次要的题目是产物、东西、加工进程和睦味控制的净化。

传统的透风方式是在车间的整个天花板上充满高效过滤器,整个空中为回风栅板。现在我公司消费的FFU 运用自带风机的过滤安装,处理了繁复的装置和性价比题目,是现在市场上一种恬静、价钱优秀的机组,为干净室保送高质量的循环氛围。

 

净化物

来路

引提问题

处理方案

粉尘

氛围

形成集成电路断路、短路,影响制品率

化学过滤模块+平凡、高效过滤器/FFU

NH3,NMP

外气

“T-top“景象

化学过滤模块

 

 

局部成交客户

 

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